半導體磨邊機晶圓切割氣浮主軸 ABT-1000 

ABT-1000是一款專為半導體晶圓精密磨邊與切割設計的高性能氣浮主軸，采用先進空氣軸承技術，實現無接觸、零摩擦運轉，確保超高轉速（*高可達100,000 RPM）下的加工精度。主軸具備**的動態(tài)剛度和熱穩(wěn)定性，有效減少振動與熱變形，適用于碳化硅（SiC）、硅晶圓等硬脆材料的超精密加工。內置智能溫控系統(tǒng)，配合低噪音、長壽命設計，顯著提升設備可靠性與晶圓邊緣質量。

氣浮主軸ABT-1000產品參數

    種類：氣動渦輪式主軸

    外徑：φ40mm

    *高轉速：100,000轉/分鐘

    主軸跳動精度：1μm以內

    輸出功率：88W

    重量：820g

    軸承氣壓：0.55MPa （空氣消耗量：50Nm3/min）

    渦輪空氣壓力0.55MPa （空氣消耗量：135Nm3/min）

    軸承許用載荷能力

    徑向：20N 或更小

    推力：35N 或更小

    筒夾（CHA組）：φ0.5~φ4.0mm

    夾頭螺母： (CHN-3A)

    轉速檢測方式

    內置磁傳感器（輸出信號：1 脈沖/轉）

    供氣管

    供氣（渦輪機）：φ6mm x 2 供氣

    （空氣軸承）：φ6mm

ABT-1000半導體磨邊機晶圓切割氣浮主軸特點

1、超高精度氣浮軸承：采用非接觸式空氣軸承技術，消除機械摩擦，確保微米級加工精度，延長使用壽命。
2、高轉速穩(wěn)定運行：*高轉速達100,000 RPM，動態(tài)剛度優(yōu)異，適用于超精密晶圓切割與磨邊。
3、優(yōu)異熱穩(wěn)定性：內置智能溫控系統(tǒng)，有效抑制熱變形，保障長時間加工穩(wěn)定性。
4、低振動低噪音：優(yōu)化氣浮結構，大幅降低振動與噪音，提升晶圓邊緣加工質量。
5、廣泛材料適應性：適用于硅（Si）、碳化硅（SiC）、砷化鎵（GaAs）等硬脆材料的精密加工。
6、高效節(jié)能設計：優(yōu)化氣路系統(tǒng)，降低能耗，同時保持高性能輸出。
7、智能監(jiān)測與維護：支持實時狀態(tài)監(jiān)測，便于預測性維護，提高設備可靠性與生產效率。